空氣過濾器的選用：凈化空調(diào)系統(tǒng)根據(jù)大氣含塵濃度、大氣中各種污染物濃度和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及要求配置各類空氣過濾器——粗效、中效、高中效、亞高效和高效、超高效以及化學(xué)過濾器等。
具體凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過濾器的配置和選用應(yīng)根據(jù)潔凈室的空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的特殊要求（當(dāng)工藝無特殊要求時(shí)，一般都是按空氣潔凈度等級配置）合理配置和選用，對于6級（1 000級）和比6級潔凈度差的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)通常采用三級空氣過濾，即粗效、中效和高效過濾器；粗效、中效（或中高效）過濾器，通常設(shè)在空氣處理裝置(AHU)內(nèi)，且將中效或中高效設(shè)在正壓段；高效或亞高效過濾器一般設(shè)在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端，也有將高效過濾器集中設(shè)在集中的空氣處理裝置(AHU)內(nèi)，但此時(shí)應(yīng)對送風(fēng)管道提出嚴(yán)格的清潔要求，以避免凈化后的空氣被污染。
對于5級（100級）和更嚴(yán)格的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過濾器的配置，應(yīng)根據(jù)潔凈室的總體設(shè)計(jì)方案及采用的凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求配置各類過濾器，比如有的集成電路生產(chǎn)用4級(O.ltim)和更嚴(yán)要求的潔凈室采用新風(fēng)集中處理，為了嚴(yán)格去除大氣中的微粒和各種污染物，通常在新風(fēng)處理裝置中設(shè)置粗效、中效（中高效）、亞高效甚至高效過濾器和化學(xué)過濾器或水噴淋裝置等；在潔凈室的循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)還設(shè)有高效、超高效和化學(xué)過濾器等；有的集成電路生產(chǎn)用潔凈室還在生產(chǎn)過程的某些生產(chǎn)區(qū)、生產(chǎn)工序或工藝設(shè)備設(shè)微環(huán)境裝置，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)所需的空氣潔凈度要求。
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