空氣過濾器的原型是人們?yōu)楸Ｗo呼吸而使用的呼吸保護器具。據(jù)記載, 早在一世紀的羅馬, 人們在提純水銀的時候就用粗麻制成的面具進行保護。在此之后的漫長時間里, 空氣過濾器也取得了進展, 但其主要是作為呼吸保護器具用于一些危險的行業(yè), 如有害化學品的生產(chǎn)。
1827 年布朗發(fā)現(xiàn)了微小粒子的運動規(guī)律,人們對空氣過濾的機理有了進一步的認識。
空氣過濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關(guān)的。在第一次世界大戰(zhàn)期間, 由于各種化學毒劑的使用, 以石棉纖維過濾紙作為濾煙層的軍用防毒面具應(yīng)運而生。玻璃纖維過濾介質(zhì)用于空氣過濾于1940 年10 月在美國取得專利。
50 年代，美國對玻璃纖維過濾紙的生產(chǎn)工藝進行了深入的研究, 使空氣過濾器得到了改善和發(fā)展。60 年代，HEPA 過濾器問世。
70 年代， 采用微細玻璃纖維過濾紙作為過濾介質(zhì)的HEPA 過濾器,，對013 微米粒徑的粒子過濾效率高達99.9998%。
八十年代以來，隨著新的測試方法的出現(xiàn)、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高, 發(fā)現(xiàn)HEPA 過濾器存在著嚴重的問題, 于是又產(chǎn)生了性能更高的UL PA 過濾器。
目前，各國仍在努力研究, 估計不久就會出現(xiàn)更先進的空氣過濾器。過濾器本身的設(shè)計也取得了顯著進展, 其中最重要的是分隔板的去除，即無隔板過濾器的發(fā)展。無隔板過濾器不僅消除了分隔板損壞過濾介質(zhì)的危險，而且有效地增加了過濾面積，提高了過濾效率，并降低了氣流阻力， 從而減少了能量消耗。此外, 空氣過濾器在耐高溫、耐腐蝕以及防水、防菌等方面也取很大的進展,滿足了一些特殊的需求。
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